在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？
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