当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

      A . CA光刻胶对深紫外光吸收小
      B . CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
      C . CA光刻胶在显影液中的可溶性强
      D . 有较高的光敏度
      E . 有较高的对比度

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