干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。
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