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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
通常热扩散分为两个大步骤,其中第一个步骤是()。
A . 再分布
B . 等表面浓度扩散
C . 预淀积
D . 等总掺杂剂量扩散
答案:
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