当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 多选
    对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。

      A . 入射离子的能量
      B . 入射离子的质量
      C . 入射离子的原子序数
      D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度
      E . 注入离子的总剂量

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