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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。
A . 入射离子的能量
B . 入射离子的质量
C . 入射离子的原子序数
D . 靶原子的质量、原子序数、原子密度
E . 注入离子的总剂量
答案:
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