张某就其开发的一种新清洁剂获得了专利权。甲公司未经张某同意生产了该清洁剂，并将该清洁剂分别销售给百货公司乙、研究机构丙、污水处理厂丁、保洁公司戊。下列行为哪些侵犯了张某的专利权?()