淀积膜的过程有三个不同的阶段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
淀积膜的过程有三个不同的阶段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。
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