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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
在半导体器件制造中，对清洗用水的纯度有比较高的要求，要用经过纯化的（）作为清洁用水。
A . 蒸馏水
B . 自来水
C . 去离子水
D . 矿泉水
答案：
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