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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
多选
按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。
A . 真空蒸发
B . 离子束蒸发
C . 电子束蒸发
D . 粒子束蒸发
E . 常压蒸发
答案：
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